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申请/专利权人：苏州太阳井新能源有限公司
摘要：本实用新型的实施例提供一种接近式曝光机，通过沿第二方向设置的多个传输装置沿第一方向同步传输待曝光件，有效提升待曝光件的传输速度；通过可沿上下方向靠近或远离曝光装置的曝光平台，在低位上下料，高位对待曝光件进行曝光处理，还可在曝光过程中自动调节曝光承载台和掩模版的位置，保证曝光承载台与掩膜版平行度在一定范围之内，提高电池片和掩模版的对准精度；通过一个曝光装置只对一片待曝光件进行曝光，相比于现有技术中一个曝光装置同时对多片待曝光件曝光，缩小了曝光装置中出光面积，提高光源功率，缩短曝光时间，有效提高产能，同时，全自动化曝光减少了人力物力，进而降低了曝光生产成本。
主权项：1.一种接近式曝光机，其特征在于，所述接近式曝光机包括：N个曝光模组，N个所述曝光模组沿水平的第一方向依次设置，任意相邻两个所述曝光模组沿水平的第二方向交错设置，所述第一方向和所述第二方向分别沿水平方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，N≥2，且N为整数；所述曝光模组包括位置检测装置和曝光装置，所述位置检测装置与所述曝光装置沿所述第一方向交替设置，所述位置检测装置被配置为检测待曝光件的位置，所述曝光装置被配置为对所述待曝光件进行曝光处理，所述曝光装置的下表面设置有可调节位置的掩模版；传输装置，所述传输装置被配置为同时承载N片所述待曝光件的传输承载台，所述传输装置被配置为沿所述第一方向传输所述待曝光件，以顺序的经过N个所述曝光模组下方，分别完成对每片所述待曝光件的曝光处理；曝光平台，所述曝光平台沿所述上下方向间隔设置于每个所述曝光装置下方，所述曝光平台可沿所述上下方向靠近或远离所述曝光装置，所述曝光平台包括曝光承载台，所述曝光承载台被配置为承载所述待曝光件进行曝光处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州太阳井新能源有限公司 接近式曝光机
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