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申请/专利权人：中芯微(周口)半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体制造用取样机器人，涉及半导体制造设备技术领域，一种半导体制造用取样机器人，包括移动车，移动车的上表面固定连接有固定座，固定座的上表面安装有旋转台,旋转台的上表面安装有多关节机械臂,多关节机械臂的另一端安装有取样爪，移动车的上表面安装有控制器,移动车的侧面固定连接有阻尼器,阻尼器的伸缩端固定连接有第一弹簧,第一弹簧的表面安装有缓冲板,缓冲板的表面开设有安装槽,安装槽的表面安装有雷达传感器，移动车的上表面安装有蜂鸣器，本实用新型通过阻尼器、第一弹簧、防护板、缓冲板、雷达传感器、触头、触点和蜂鸣器的设置，达到了提高机器人自身的防护性能的目的。
主权项：1.一种半导体制造用取样机器人，包括移动车（1），其特征在于：所述移动车（1）的上表面固定连接有固定座（2），固定座（2）的上表面安装有旋转台（3）,旋转台（3）的上表面安装有多关节机械臂（4）,多关节机械臂（4）的另一端安装有取样爪（5），移动车（1）的上表面安装有控制器（6）,移动车（1）的侧面固定连接有阻尼器（7）,阻尼器（7）的伸缩端固定连接有第一弹簧（8）,第一弹簧（8）的表面安装有缓冲板（10）,缓冲板（10）的表面开设有安装槽（11）,安装槽（11）的表面安装有雷达传感器（12），移动车（1）的上表面安装有蜂鸣器（18）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯微(周口)半导体有限公司 一种半导体制造用取样机器人
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