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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种可兼容多规格片架的晶圆盒，包括盒体，盒体设置有容置腔用以容纳片架，片架用于存放晶圆，盒体还包括固定架以及限位板，固定架以及限位板设置在容置腔内，且与盒体可拆卸连接，固定架用于片架的固定作用，限位板用于晶圆的限位作用，通过上述结构设置，因本实用新型的固定架以及限位板与盒体可拆卸连接，操作者可通过更换不同大小尺寸规格的固定架以及限位板，固定不同规格的片架，从而实现对不同规格晶圆的存储，解决了“单一盒体仅能存储一种规格晶圆的技术问题”，使得不同规格的晶圆可以在一条生产线上生产，生产方无需为不同规格得晶圆架设不同的生产线，极大的节约了成本。
主权项：1.一种可兼容多规格片架的晶圆盒，包括盒体1，所述盒体1设置有容置腔11用以容纳片架2，所述片架2用于存放晶圆，其特征在于，所述盒体1还包括固定架3以及限位板4，所述固定架3以及所述限位板4设置在所述容置腔11内，且与所述盒体1可拆卸连接，所述固定架3用于所述片架2的固定作用，所述限位板4用于晶圆的限位作用。
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权利要求：
百度查询： 芜湖义柏载具精密技术有限公司 一种可兼容多规格片架的晶圆盒
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