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申请/专利权人：无锡升滕半导体技术有限公司
摘要：本实用新型公开了一种检测平面多孔和侧面多孔三坐标检测装置，包括固定板和支板，其中一个支板上固定连接有步进电机且步进电机的输出端固定连接有转动杆，转动杆上固定连接有转动盘，支板上侧固定连接有驱动电机且驱动电机的输出端固定连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有移动块，移动块底侧固定连接有距离感应器，距离感应器一侧设置有移动框，移动框一侧固定连接有支架且支架一侧固定连接移动块，本实用新型通过设置可以移动的转动盘来调节两个转动盘的间距，通过驱动电机带动螺杆转动，并使滑块底侧的距离感应器得以在待检测物上侧实施检测，并通过支架及移动框来调节扫描显微镜与待检测物更接近，从而使得检测探头更贴近待检测物，提升检测精度。
主权项：1.一种检测平面多孔和侧面多孔三坐标检测装置，包括固定板1和支板2，其特征在于，其中一个所述支板2上固定连接有步进电机且步进电机的输出端固定连接有转动杆3，所述转动杆3上固定连接有转动盘4，所述支板2上侧固定连接有驱动电机且驱动电机的输出端固定连接有螺杆5，所述螺杆5上螺纹连接有移动块6，所述移动块6底侧固定连接有距离感应器7，所述距离感应器7一侧设置有移动框15，所述移动框15一侧固定连接有支架17且支架17一侧固定连接移动块6，所述移动框15内插接有支撑板16，所述支撑板16上端一侧固定连接有扫描电子显微镜8，所述固定板1上端一侧固定连接有第一显示屏9且第一显示屏9通过导线连接距离感应器7，所述固定板1上端一侧固定连接有第二显示屏10且第二显示屏10通过导线连接扫描电子显微镜8，另一个所述支板2上转动连接有衔接盘11，所述衔接盘11通过转轴转动连接有另一个转动盘4且两个转动盘4位置对应，所述转动盘4通过轴承转动连接有调节杆12，所述调节杆12螺纹连接支撑盘13，所述支撑盘13与转动盘4之间固定连接有辅助杆。
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