龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体连接的支撑板，其中，所述支撑板和所述外环体之间具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述支撑板连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端。因此，相比于MEMS结构中不含有支撑板的技术方案，本申请通过设置一个或多个支撑板，缩短了悬臂梁从固定端到自由端的长度，从而降低了压电复合振动层的膜片翘曲的几率。而且降低了MEMS结构的工艺难度，提高了成品率和器件的稳定性。另外，压电复合振动层中的多个悬臂梁结构有效地提高了灵敏度。
主权项：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体连接的支撑板，其中，所述支撑板和所述外环体之间具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方，所述压电复合振动层包括与所述支撑板连接的固定端和悬置于所述空腔上方的自由端；其中，所述支撑板从所述外环体向所述外环体的中心延伸，所述压电复合振动层包括一个或多个膜片，每个所述膜片的固定端连接于所述支撑板，每个所述膜片的自由端悬置于所述空腔上方；其中，所述压电复合振动层的膜片的宽度从所述固定端向所述自由端逐渐缩小；或，所述压电复合振动层的膜片的宽度从所述固定端向所述自由端保持恒定；其中，每个所述膜片的自由端在振动方向上的投影轮廓位于对应的所述空腔内侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 一种MEMS结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号