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申请/专利权人:上海宝信软件股份有限公司
摘要:本发明提供了一种复合压电陶瓷晶片及其制造方法。该方法是一种平面图案可以任意设计和制造的复合压电陶瓷晶片。制造过程中采用可以进行任意图案加工的激光雕刻设备、机械雕刻设备、化学蚀刻设备等,可以任意控制各个位置的加工深度。这种新型的复合压电陶瓷晶片可以利用发射声波的自我干涉,参考DOEDiffractiveOpticalElements设计技术,形成各种定制的声场空间分布。为新一代超声换能器的设计和制造提供了阶跃式的制造技术基础。
主权项:1.一种复合压电陶瓷晶片的制造方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:步骤S1:准备压电陶瓷晶片材料;步骤S2:将压电陶瓷晶片材料放置于加工设备中;所述加工设备包括激光雕刻设备、机械雕刻设备或化学蚀刻设备;步骤S3:通过调整所述加工设备的加工参数,在压电陶瓷晶片材料上加工出设计的图案;步骤S4:使用有机浆料对加工好的压电陶瓷晶片进行填充并固化;步骤S5:对填充有机浆料并固化的压电陶瓷晶片进行修平和抛光,得到复合压电陶瓷晶片;步骤S6:对制成的复合压电陶瓷晶片进行清洁干燥。
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权利要求:
百度查询: 上海宝信软件股份有限公司 复合压电陶瓷晶片及其制造方法
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