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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明为感光性树脂组合物和感光性干膜。提供了感光性树脂组合物，其包含A100pbw的含酚羟基的树脂，和B0.1‑18pbw的每分子含1‑8个环氧基的、含有氮、硫或磷、并且具有50‑6,000分子量的化合物形式的环氧添加剂。该组合物对金属布线具有提高的结合力。
主权项：1.感光性树脂组合物，其包含A具有酚羟基的树脂，和B每分子含有1至8个环氧基的、含有选自氮、硫和磷的至少一种元素且具有50至6,000分子量的化合物形式的环氧添加剂，相对于每100重量份所述树脂A，所述环氧添加剂B以0.1至18重量份的量存在,其中所述环氧添加剂B为具有式9的化合物，XAm-XB9XA为选自下式的基团， 其中，虚线表示与XB键合的价键，Ra至Re各自独立地为C1-C6一价烃基，E1和E2各自独立地为C1-C12二价烃基，下标m1、m2和m3各自独立地为0至3的整数，j1为0至7的整数，j2为1至8的整数，j3为1至3的整数，XB选自由下式表示的基团：
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 感光性树脂组合物和感光性干膜
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