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堆叠状的III-V族半导体二极管 

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申请/专利权人:3-5电力电子有限责任公司

摘要:包括GaAs或者由GaAs组成的堆叠状的III‑V族半导体二极管具有高n型掺杂的阴极层、高p型掺杂的阳极层和布置在所述阴极层和所述阳极层之间的漂移区,其中,所述漂移区具有低n型掺杂的漂移层和低p型掺杂的漂移层,所述n型掺杂的漂移层布置在所述p型掺杂的漂移层和所述阴极层之间,两个漂移层分别具有至少5μm的层厚度并且沿着相应的层厚度具有最高8·1015cm‑3的掺杂剂浓度最大值,所述两个漂移层的掺杂剂浓度最大值彼此之间具有0.1至10的比值,并且,所述n型掺杂的漂移层的层厚度与所述p型掺杂的漂移层的层厚度的比值在0.5至3之间。

主权项:1.一种堆叠状的III-V族半导体二极管10,所述堆叠状的III-V族半导体二极管包括GaAs或者由GaAs组成,所述堆叠状的III-V族半导体二极管具有:-高n型掺杂的阴极层12,-高p型掺杂的阳极层16,以及-漂移区14,所述漂移区布置在所述阴极层12与所述阳极层16之间,-所述漂移区14具有低n型掺杂的漂移层14.1和低p型掺杂的漂移层14.2,-所述低n型掺杂的漂移层14.1布置在所述低p型掺杂的漂移层14.2与所述阴极层12之间,其特征在于,-两个漂移层14.1,14.2分别具有至少5μm的层厚度Dn,Dp并且沿着相应的层厚度Dn,Dp具有最高8·1015cm-3的掺杂剂浓度最大值,-所述两个漂移层14.1,14.2的掺杂剂浓度最大值彼此之间具有0.1至10的比值,并且,-所述低n型掺杂的漂移层的层厚度Dn与所述低p型掺杂的漂移层的层厚度Dp的比值在0.5至3之间,所述阳极层16具有第一区段12.1,16.1和第二区段12.2,16.2,所述第二区段布置在所述第一区段12.1,16.1与所述漂移区14之间,所述第一区段具有恒定的掺杂剂浓度变化过程,所述第二区段具有在朝向所述第一区段12.1,16.1的方向上台阶状上升的掺杂剂浓度变化过程。

全文数据:

权利要求:

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