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申请/专利权人：南京信息工程大学
摘要：本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。
主权项：1.一种低畸变堆栈式扫描探针显微头，其特征在于，包括：X堆栈（1）、Y堆栈（2）、探针模块（3）以及薄片（4），所述X堆栈（1）、Y堆栈（2）之间通过薄片（4）粘接，所述探针模块（3）的上端连接Y堆栈（2）的下端；所述X堆栈（1）包括位于堆栈上部的蓝宝石底座（101）、位于堆栈下部3件以上的X压电片（102），最上方的X压电片（102）的上端面与蓝宝石底座（101）的下端面完全固定粘接，所述X堆栈（1）的各X压电片（102）之间的间隙层设置有沿着Y方向排布的金属片（5）和细丝（6），所述金属片（5）位于间隙层X方向的一侧，同一间隙层的细丝（6）位于X方向的另一侧，各间隙层的金属片（5）和细丝（6）呈“之”字形交错排布；所述Y堆栈（2）包括位于堆栈下部的蓝宝石片（201）、位于堆栈上部的3件以上的Y压电片（202），最下方的Y压电片（202）的下端面与蓝宝石片（201）的上端面完全固定粘接，所述Y堆栈（2）的各Y压电片（202）之间的间隙层设置有沿着X方向排布的金属片（5）和细丝（6），所述金属片（5）位于间隙层Y方向的一侧，同一间隙层的细丝（6）位于Y方向的另一侧，各间隙层的金属片（5）和细丝（6）呈“之”字形交错排布；各所述金属片（5）与该金属片（5）上下方的压电片固定连接；各所述细丝（6）与该细丝（6）上下方的压电片滚动连接；所述探针模块（3）包括探针管（301）和探针针体（302），所述探针管（301）与蓝宝石片（201）的下端面中心位置处固定连接，所述探针针体（302）安装于探针管（301）中。
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百度查询： 南京信息工程大学 一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头
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