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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供探针装置和探针卡的预冷却方法。是具有多个检查室的探针装置，多个检查室各自包括探针卡、探针卡保持部件、卡盘顶部、密封机构、温度调节部和供给部。探针卡具有多个探针。探针卡保持部件保持探针卡。卡盘顶部能够载置晶片。密封机构在探针卡保持部件与卡盘顶部之间形成密闭空间。温度调节部对卡盘顶部进行温度调节。供给部对密闭空间供给干燥气体。探针装置在卡盘顶部没有载置晶片的状态下，用干燥空气对密闭空间进行了吹扫后，利用由温度调节部进行了温度调节的卡盘顶部的冷量，进行探针卡的预冷却。本发明能够抑制发生结露并且进行探针卡的预冷却。
主权项：1.一种具有多个检查室的探针装置，其特征在于：所述多个检查室各自包括：具有多个探针的探针卡；保持所述探针卡的探针卡保持部件；能够载置晶片的卡盘顶部；在所述探针卡保持部件与所述卡盘顶部之间形成密闭空间的密封机构；对所述卡盘顶部进行温度调节的温度调节部；和对所述密闭空间供给干燥气体的供给部，所述探针卡和所述卡盘顶部的至少一者具有能够将所述探针卡与所述卡盘顶部的间隔保持为一定的间隙调整部件，所述间隙调整部件的一端设置在所述探针卡和所述卡盘顶部的至少一者上，另一端位于所述探针卡和所述卡盘顶部中的另一者一侧，所述间隙调整部件的长度具有比所述探针长且比所述探针卡与所述卡盘顶部的间隔短的关系，其中所述探针卡与所述卡盘顶部的间隔是在所述卡盘顶部载置有晶片时所述探针接触到所述晶片的状态下的所述探针卡与所述卡盘顶部的间隔，在所述卡盘顶部没有载置晶片且所述间隙调整部件的另一端没有接触到所述探针卡和所述卡盘顶部中的另一者的状态下，用所述干燥气体对所述密闭空间进行了吹扫后，使所述卡盘顶部向所述探针卡侧靠近，成为所述间隙调整部件的另一端接触到所述探针卡和所述卡盘顶部中的另一者的状态，利用由所述温度调节部进行了温度调节的所述卡盘顶部的冷量，进行所述探针卡的预冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 探针装置和探针卡的预冷却方法
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