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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种喷淋装置及原子层沉积设备。本发明的喷淋装置包括框架主体、第一匀气件、第二匀气件以及喷淋组件，框架主体限定有进气口；第一匀气件包括第一匀气通道，第一匀气通道包括与进气口连通的第一入口以及多个第一出口；第二匀气件包括有多个互不连通的第二匀气通道，各第二匀气通道均包括与第一出口连通的第二入口以及第二出口；喷淋组件包括多个互不连通的第三匀气通道，各第三匀气通道均包括与第二出口连通的第三入口以及多个喷淋孔；其中，第一匀气通道沿水平面分布，第三匀气通道沿竖直面分布。该喷淋装置通过多级的分流以使同级的各个流道中的气体压力和流量保持基本一致，从而极大地提升了镀膜的均匀性。
主权项：1.喷淋装置，其特征在于，包括：框架主体，所述框架主体限定有进气口；第一匀气件，所述第一匀气件包括第一匀气通道，所述第一匀气通道包括与所述进气口连通的第一入口以及多个第一出口；第二匀气件，所述第二匀气件包括有多个互不连通的第二匀气通道，各所述第二匀气通道均包括与所述第一出口连通的第二入口以及第二出口；喷淋组件，所述喷淋组件包括多个互不连通的第三匀气通道，各所述第三匀气通道均包括与所述第二出口连通的第三入口以及多个喷淋孔；其中，所述第一匀气通道沿水平面分布，所述第三匀气通道沿竖直面分布。
全文数据：
权利要求：
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