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申请/专利权人：青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司
摘要：本公开提供一种石墨盘及沉积装置，涉及化学气相沉积设备技术领域。该石墨盘包括：石墨盘盘体，石墨盘盘体的第一表面设置有多个凹槽，凹槽用于放置衬底，石墨盘盘体的第二表面具有与每个凹槽的槽壁对应且凹陷设置的第一隔热部；其中，石墨盘盘体的第二表面与第一表面相背。
主权项：1.一种石墨盘，其特征在于，包括：石墨盘盘体1，所述石墨盘盘体1的第一表面101设置有多个凹槽11，所述凹槽11用于放置衬底，所述石墨盘盘体1的第二表面102具有与每个所述凹槽11的槽壁对应且凹陷设置的第一隔热部；其中，所述石墨盘盘体1的所述第二表面102与所述第一表面101相背。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛旭芯互联科技研发有限公司 东旭科技集团有限公司 石墨盘及沉积装置
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