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申请/专利权人：京瓷株式会社
摘要：本发明提供一种能够降低在绝缘套筒与金属支承体之间产生的热应力的试样保持工具。试样保持工具具备：具有试样保持面的绝缘基体1、和与绝缘基体1接合的支承体2，设置在绝缘基体1的贯通孔9和设置在支承体2的孔部7连通并构成气体流入孔。在孔部7内配置有筒状的套筒10，设置位于套筒10的外周面10a与孔部7的内周面7a之间的环状构件4。环状构件4包围套筒10，将套筒10固定在支承体2。
主权项：1.一种试样保持工具，其特征在于，具备：板状的基体，一个主面为试样保持面，具有从该一个主面连到另一个主面的流路；支承体，一个主面与所述基体的所述另一个主面接合，具有向该一个主面开口的孔部；筒状构件，位于该孔部，具有与所述流路连续的贯通孔；以及环状构件，位于该筒状构件的外周面与所述孔部的内周面之间，该环状构件包围所述筒状构件，将该筒状构件固定在所述支承体，所述孔部的所述内周面从向所述支承体的所述一个主面开口的部位到与所述环状构件相接的部位为止被材料与该环状构件不同的树脂构件覆盖，该树脂构件的弹性模量比所述筒状构件以及所述环状构件小。
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