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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供丙烯酸酯类酸敏树脂、光感应性组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法，该丙烯酸酯类酸敏树脂包括衍生自第一单体的结构单元A、衍生自第二单体的结构单元B，结构单元A和结构单元B的总摩尔占比为30%‑70%，摩尔比为（0.5‑20）:1；第一单体包括式（1）所示的单体，Ra为氢原子或甲基，R1、R2、R3、R4中至少两者为烷基；第二单体包括式（2）所示的单体，Rb为氢原子或甲基，R5、R6以及n个R7中至多一者为烷基，n为1‑5的整数；式（1）、式（2）；该丙烯酸酯类酸敏树脂用于光感应性组合物可获得良好工艺窗口，有利于图案化工艺。
主权项：1.一种丙烯酸酯类酸敏树脂，其特征在于，所述丙烯酸酯类酸敏树脂包括衍生自第一单体的结构单元A、衍生自第二单体的结构单元B和光酸敏感结构单元C；所述结构单元A和所述结构单元B的总摩尔占比为30%-70%，所述结构单元A与所述结构单元B的摩尔比为（0.5-20）:1；所述第一单体包括式（1）所示的单体，式（1）中，Ra为氢原子或甲基，R1、R2、R3、R4分别独立地选自烷基或氢原子，且R1、R2、R3、R4中至少两者为烷基；所述第二单体包括式（2）所示的单体，式（2）中，Rb为氢原子或甲基，R5、R6以及n个R7分别独立地选自烷基或氢原子，且R5、R6以及n个R7中至多一者为烷基，n为1-5的整数； 式（1）式（2）；所述光酸敏感结构单元C可赋予丙烯酸酯类酸敏树脂在酸作用下极性反转的能力。
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权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 丙烯酸酯类酸敏树脂、光感应性组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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