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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供了酸敏树脂、单体、感光组合物、图案化膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法。本申请实施例提供的酸敏树脂可用于制备高临界尺寸均匀性的图案，且其具有较优的耐刻蚀性能，其应用于高精度集成电路等半导体器件的制程中，可有效提升高精度半导体器件的可靠性；例如，提升高精度集成电路的可靠性。
主权项：1.一种酸敏树脂，其特征在于，包括衍生自第一单体的酸敏结构单元，所述第一单体包括如式1所示的结构， 式1，其中，R1为链状烃基，R2和R3独立地为氢原子或烷基，R4为氢原子、C1-C4烷基、氟代甲基中的任一种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 酸敏树脂、单体、感光组合物、图案化膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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