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申请/专利权人:厦门莱蔓新材料科技有限公司
摘要:本发明涉及冷却器具技术领域,公开了一种内嵌管道的聚偏氟乙烯装置及其制备方法,包括:聚偏氟乙烯本体、内嵌管道和中心机构,聚偏氟乙烯本体为棱柱体,棱柱体的中心处设有中心机构,中心机构包括中心管道,中心管道设置在棱柱体的中线上,且中心管道是从棱柱体的中心处延伸至棱柱体的底面,并贯穿棱柱体的底面,中心机构的四周连接内嵌管道,内嵌管道从中心机构边缘处延伸至棱柱体的棱面,且内嵌管道贯穿棱柱体的棱面,内嵌管道的内壁和中心机构的内壁均为粗糙表面,聚偏氟乙烯本体的外表面为光滑表面,内嵌管道和中心机构为贯通连接。该装置进行合理化设计,实现一进多出的冷却器具,实现其表面亲水性和管道疏水性,便于应用在晶圆等物体冷却。
主权项:1.一种内嵌管道的聚偏氟乙烯装置的制备方法,其特征在于,所述步骤具体如下:步骤1:制圆胚选取聚偏氟乙烯(PVDF)材质的圆锭,将其放入切割机床上进行切割,选取切割锯对该圆锭进行切割出所需规格厚度的圆胚;步骤2:制棱柱体胚选取步骤1的圆胚,将其放入切割机床的载物台上,选取直切割锯,进行等棱柱体切割,切割出等边棱柱体后,并对等边棱柱体的表面进行铣磨,将其放入铣磨机床上进行铣磨,再对其进行倒角的铣磨,然后对其进行抛光处理,采用机械抛光技术与激光扫描技术,先对其平整的表面进行油石的机械抛光,再对其表面进行激光加热扫描,制备出聚偏氟乙烯本体;步骤3:制第一内嵌引导孔选取步骤2的聚偏氟乙烯本体,将其第一棱面放在钻孔机床的载物台上,且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具,固定好聚偏氟乙烯本体,在第一棱面相对棱面的中心处,进行启动钻头,沿着棱面的中心与聚偏氟乙烯本体的中心的直线进行钻取第一内嵌引导孔,钻取至聚偏氟乙烯本体的中心处;步骤4:制其余各个棱面的内嵌引导孔选取步骤3的聚偏氟乙烯本体,按照步骤3的加工方式,进行其余各个棱面的中心处的内嵌引导孔的加工,以形成聚集在聚偏氟乙烯本体的中心处并向各个棱面发散的内嵌引导孔,钻取成聚偏氟乙烯本体的内嵌引导孔;步骤5:制聚偏氟乙烯本体的底面的中心引导孔选取步骤4的聚偏氟乙烯本体,将其顶面放在钻孔机床的载物台上,且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具,固定好聚偏氟乙烯本体,在顶面相对底面的中心处,进行启动钻头,沿着棱柱体的中线,钻至在聚偏氟乙烯本体的中心处的内嵌引导孔汇集处,以获得中心引导孔与内嵌引导孔的互联互通;步骤6:制第一内嵌管道选取步骤5的聚偏氟乙烯本体,将其第一棱面放在钻孔机床的载物台上,且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具,固定好聚偏氟乙烯本体,在第一内嵌引导孔处进行灌注石蜡液体,将石蜡液体灌满第一内嵌引导孔里,采用一些冷却气体进行快速降温凝固,再采用比加工引导孔的钻头的直径大0.15-0.2mm的钻头进行钻孔,钻至在聚偏氟乙烯本体的中心处的内嵌引导孔汇集处,完成第一个内嵌管道的制备;步骤7:制其余各个棱面的内嵌管道选取步骤6的聚偏氟乙烯本体,按照步骤6的加工方式,进行其余各个棱面的中心处的内嵌管道的加工,以形成聚集在聚偏氟乙烯本体的中心处并向各个棱面发散的内嵌管道,钻取成聚偏氟乙烯本体的内嵌管道;步骤8:制聚偏氟乙烯本体的底面的中心内嵌管道选取步骤7的聚偏氟乙烯本体,将其顶面放在钻孔机床的载物台上,且该载物台上放有带有缓冲垫的工装夹具,固定好聚偏氟乙烯本体,在中心引导孔处进行灌注石蜡液体,将石蜡液体灌满中心引导孔里,采用一些冷却气体进行快速降温凝固,再采用比加工引导孔的钻头的直径大0.15-0.2mm的钻头进行钻孔,钻至在聚偏氟乙烯本体的中心处的内嵌管道汇集处,完成中心内嵌管道的制备。
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