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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本公开的实施例涉及多个带电粒子束的装置。提出了一种具有尺寸、取向和入射角可变的总FOV的新多束装置。新装置提供了加速样本观察和使得更多样本可观察的更大灵活性。更具体地，作为在半导体制造工业中检查和或审查晶片掩模上的缺陷的产量管理工具，新装置提供了实现高吞吐量和检测更多种类的缺陷的更多可能性。
主权项：1.一种源转换单元，包括：小束限制设备，具有多个束限制开口，所述多个束限制开口被配置为允许多个小束穿过；以及图像形成设备，沿主光轴可移动，并且包括多个电子光学元件，其中所述多个电子光学元件的至少一些电子光学元件被配置为使所述多个小束中的至少一些小束朝向所述主光轴偏转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 多个带电粒子束的装置
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