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申请/专利权人：瑞声科技(新加坡)有限公司
摘要：一种MEMS麦克风，包括：基底，具有背腔；背板，与所述基底间隔设置；隔膜，设于所述基底上，并位于所述基底和背板之间；所述隔膜包括主体部、边缘部、隔离岛和梁结构，所述主体部与所述基底及背板间隔设置，所述边缘部固定连接所述基底，所述隔离岛为多个且与所述主体部间隔设置，每个所述隔离岛与所述主体部之间形成缝隙；所述梁结构为多个且环绕所述主体部间隔设置，任意两个相邻的所述隔离岛之间具有所述梁结构，所述梁结构用于连接所述主体部和边缘部；连接件，被配置为将每个所述隔离岛与所述基底和所述背板中的至少一者连接。本发明将隔离岛与背板或基底固定连接，一方面可优化隔离岛设计的自由度，另一方面可辅助提高隔膜的鲁棒性。
主权项：1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括：基底，具有背腔；背板，与所述基底间隔设置；隔膜，设于所述基底上，并位于所述基底和背板之间；所述隔膜包括主体部、边缘部、隔离岛和梁结构，所述主体部与所述基底及背板间隔设置，所述边缘部固定连接所述基底，所述隔离岛为多个且与所述主体部间隔设置，每个所述隔离岛与所述主体部之间形成缝隙；所述梁结构为多个且环绕所述主体部间隔设置，任意两个相邻的所述隔离岛之间具有所述梁结构，所述梁结构用于连接所述主体部和边缘部；连接件，被配置为将每个所述隔离岛与所述基底和所述背板中的至少一者连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 瑞声科技(新加坡)有限公司 MEMS麦克风
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