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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种确定来自衬底上的目标的感兴趣参数的值的方法。该方法包括获取量测数据，该量测数据包括使用相应的不同测量波长获得的感兴趣的单波长参数值；以及从所述感兴趣的单波长参数值的堆叠灵敏度得出的加权组合确定所述感兴趣的参数值。还公开了一种至少基于堆叠灵敏度相对于波长的导数来选择用于测量的波长的方法。
主权项：1.一种确定来自衬底上的目标的感兴趣参数的值的方法，所述方法包括：获取包括至少两个或多个感兴趣的单波长参数值的量测数据，每个感兴趣的单波长参数值使用相应的不同的测量波长获得；以及从所述感兴趣的单波长参数值的加权组合确定所述感兴趣参数的所述值，所述加权组合由堆叠灵敏度得出的权重来加权。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 量测方法及相关联的量测设备
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