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申请/专利权人：UBE株式会社
摘要：本发明提供一种结晶氮化硅粉末，其能够得到具有易烧结性且高温强度等烧结体特性优异的氮化硅质烧结体。另外，本发明提供一种能够制造具有充分的机械强度、并且热传导性优异的氮化硅质烧结体的结晶氮化硅粉末。进而，本发明提供一种兼具高弯曲强度和优异的热传导性的氮化硅质烧结体的制造方法。一种结晶氮化硅粉末，其特征在于，基于BET法的比表面积SA为3m2g以上且16m2g以下，利用升温形态分析测定的表面氧量FSO为0.2质量％以上且0.6质量％以下，利用升温形态分析测定的内部氧量FIO为0.4质量％以上且1.3质量％以下，所述表面氧量相对于BET比表面积的比FSOSA为0.25mgm2以上且小于0.50mgm2。
主权项：1.一种结晶氮化硅粉末，其特征在于，其在颗粒表面具有氧化硅层和或氧氮化硅层，并且BET比表面积SA为3m2g以上且16m2g以下，利用升温形态分析测定的表面氧量FSO为0.20质量％以上且0.60质量％以下，利用升温形态分析测定的内部氧量FIO为0.40质量％以上且1.30质量％以下，所述表面氧量相对于BET比表面积的比FSOSA为0.25mgm2以上且小于0.50mgm2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： UBE株式会社 氮化硅粉末和氮化硅质烧结体的制造方法
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