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一种减少石英坩埚内表面未融颗粒的方法 

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申请/专利权人:内蒙古中环晶体材料有限公司

摘要:本发明提供一种减少石英坩埚内表面未融颗粒的方法,包括:第一熔制过程、第二熔制过程、冷却过程和脱模过程,在所述第二熔制过程和冷却过程中,对石英坩埚内表面未融颗粒进行除杂工艺。本发明的有益效果是避免了石英坩埚熔制过程中未融颗粒镶嵌在石英坩埚内表面,降低了石英坩埚使用过程中未融颗粒脱落导致的单晶异质成核的风险,改善成晶品质,提高了成晶率。

主权项:1.一种减少石英坩埚内表面未融颗粒的方法,其特征在于,包括:第一熔制过程、第二熔制过程、冷却过程和脱模过程,在所述第二熔制过程和冷却过程中,对石英坩埚内表面未融颗粒进行除杂工艺。

全文数据:

权利要求:

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