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坩埚提升装置及单晶炉 

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申请/专利权人:株洲三一硅能技术有限公司

摘要:本实用新型涉及晶体制造技术领域,公开了提供了一种坩埚提升装置及单晶炉。坩埚提升装置的提升柱可移动地设置在机架上,提升柱的上端适于与坩埚连接;第一驱动机构设置在机架上,包括第一驱动件和第一驱动环,第一驱动环套设在提升柱上,提升柱的外表面设置有第一螺纹段,第一驱动环的内表面设置有与第一螺纹段配合的第二螺纹段,第一驱动件驱动第一驱动环转动;第二驱动机构设置在机架上,包括第二驱动件和第二驱动环,第二驱动环套设在提升柱上,并与第二驱动环间隔设置,提升柱的外表面和第二驱动环的内表面中的一个上设置有限位键,另一个上设置有限位槽,限位键嵌入至限位槽内,并且限位键和限位槽均沿提升柱的轴向延伸,简化了传动结构。

主权项:1.一种坩埚提升装置,其特征在于,包括:机架1;提升柱2,可移动地设置在所述机架1上,所述提升柱2的上端适于与坩埚100连接;第一驱动机构3,设置在所述机架1上,包括第一驱动件31和第一驱动环32,所述第一驱动环32套设在所述提升柱2上,所述提升柱2的外表面设置有第一螺纹段21,所述第一驱动环32的内表面设置有与所述第一螺纹段21配合的第二螺纹段,所述第一驱动件31驱动所述第一驱动环32转动;第二驱动机构4,设置在所述机架1上,包括第二驱动件41和第二驱动环42,所述第二驱动环42套设在所述提升柱2上,并与所述第二驱动环42间隔设置,所述提升柱2的外表面和所述第二驱动环42的内表面中的一个上设置有限位键,另一个上设置有限位槽22,所述限位键嵌入至所述限位槽22内,并且所述限位键和所述限位槽22均沿所述提升柱2的轴向延伸。

全文数据:

权利要求:

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