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申请/专利权人:上海新昇半导体科技有限公司
摘要:本发明提供一种硅料处理方法、棒状硅料及硅料装载方法,包括:对原硅料进行预处理,以得到尺寸满足要求的棒状硅料,所述预处理包括截断和或破碎,在采用破碎方法获取棒状硅料时,围绕一轴心对原硅料的侧壁进行敲击;在获取棒状硅料后,将棒状硅料层层叠放在硅料运输容器内,每两层棒状硅料之间通过平铺的小硅料和或大硅料间隔,且每层棒状硅料的间隙用小硅料和或大硅料填充,小硅料及大硅料的最大轮廓尺寸分别为D1和D2,棒状硅料的直径为D3,D1<D2<D3。采用本发明提供的硅料处理方法及装载方法,可以更好地利用装载空间,减少装量强度,而且运输过程中因挤压所产生的碎渣以及粉尘能够大幅减少,减少来自硅料表面的金属污染。
主权项:1.一种硅料处理方法,其特征在于,包括:对原硅料进行预处理以得到尺寸满足要求的棒状硅料,所述预处理包括截断和或破碎,在采用破碎方法获取所述棒状硅料时,围绕一轴心对所述原硅料的侧壁进行敲击。
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百度查询: 上海新昇半导体科技有限公司 硅料处理方法、棒状硅料及硅料装载方法
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