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申请/专利权人：深圳市瀚强科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种阻抗匹配方法以及相关装置，阻抗匹配方法应用于一阻抗匹配器，阻抗匹配器包括连接于射频电源与负载之间的第一电容，第一电容为可调电容；阻抗匹配方法包括：在射频电源未向负载输出电能时，基于定义了第一电容的电容值与负载的电阻值以及负载的电抗值之间关系的第一预设关系，根据负载的预设电阻值以及负载的预设电抗值，得到第一电容的预设电容值，并将第一电容的电容值调节至预设电容值；在射频电源向负载输出电能时，获取负载的当前电阻值；基于第一预设关系，根据负载的当前电阻值以及负载的预设电抗值，得到第一电容的第一目标电容值，并将第一电容的电容值从预设电容值调节至第一目标电容值。本申请可降低阻抗匹配的延时。
主权项：1.一种阻抗匹配方法，其特征在于，应用于一阻抗匹配器，所述阻抗匹配器用于对射频电源与负载进行阻抗匹配，所述阻抗匹配器包括第一电容，所述第一电容连接于所述射频电源与负载之间，且所述第一电容为可调电容；其中，所述阻抗匹配方法包括：在射频电源未向负载输出电能时，基于第一预设关系，至少根据负载的预设电阻值以及负载的预设电抗值，得到第一电容的预设电容值，并将第一电容的电容值调节至预设电容值，其中，第一预设关系至少定义了第一电容的电容值与负载的电阻值以及负载的电抗值之间的关系；在射频电源向负载输出电能时，获取负载的当前电阻值；基于第一预设关系，至少根据负载的当前电阻值以及负载的预设电抗值，得到第一电容的第一目标电容值，并将第一电容的电容值从预设电容值调节至第一目标电容值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市瀚强科技股份有限公司 阻抗匹配方法以及相关装置
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