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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种纳米压印晶圆表面缺陷智能识别方法，属于图像处理技术领域，本发明通过滤波处理，减少噪点的影响，在范围内进行两两灰度值组合，构建三种灰度值组合，根据三种灰度值组合的出现次数，确定局部区域的组合偏差度，再根据灰度图与局部区域在灰度值上的差距，得到局部区域的灰度偏差度，实现同时考虑单一灰度值的分布和三种灰度值组合的分布，大大增强了对复杂缺陷模式的识别能力，提高缺陷识别精度，将同局部区域的组合偏差度和灰度偏差度相加，得到缺陷程度值，在缺陷程度值大于缺陷程度阈值时，该区域存在缺陷，同时考虑局部区域的两种偏差特征，显著提高了缺陷识别的精度和可靠性。
主权项：1.一种纳米压印晶圆表面缺陷智能识别方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对晶圆表面图像进行滤波处理，得到滤波图像；S2、对滤波图像进行灰度处理，得到灰度图；S3、统计灰度图上各个第一灰度值组合、第二灰度值组合和第三灰度值组合出现的次数，其中，第一灰度值组合、第二灰度值组合和第三灰度值组均为范围内的两个灰度值的组合；S4、根据各个第一灰度值组合、第二灰度值组合和第三灰度值组合出现的次数，得到局部区域的组合偏差度；S5、根据灰度图上灰度值出现的次数，得到局部区域的灰度偏差度；S6、将同局部区域的组合偏差度和灰度偏差度相加，得到缺陷程度值，在缺陷程度值大于缺陷程度阈值时，该区域存在缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种纳米压印晶圆表面缺陷智能识别方法
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