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薄膜型声表面波谐振器及滤波器 

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申请/专利权人:唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司

摘要:本发明公开了一种薄膜型声表面波谐振器及滤波器,该谐振器可以包括:压电基板;叉指换能器,设置于压电基板的表面,叉指换能器包括:相对设置的两个金属汇流条,两个金属汇流条之间设有呈叉指型且沿第一方向交替间隔设置的多个叉指电极;叉指电极的一端为自由端,叉指电极的另一端与金属汇流条连接,多个叉指电极在第一方向重叠的区域为有效激励区;叉指电极上设有至少一层质量块,质量块沿叉指电极的长度方向延伸,质量块至少位于有效激励区内,质量块的宽度按预设方式渐变。本发明能够抑制器件横向模响应、提升声学谐振器和滤波器Q值,并能降低声学滤波器的插入损耗。

主权项:1.一种薄膜型声表面波谐振器,其特征在于,包括:压电基板;叉指换能器,设置于所述压电基板的表面;所述叉指换能器包括:相对设置的两个金属汇流条,所述金属汇流条沿第一方向延伸,两个所述金属汇流条之间设有呈叉指型且沿第一方向交替间隔设置的多个叉指电极;所述叉指电极沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸,所述叉指电极的一端为自由端,所述叉指电极的另一端与所述金属汇流条连接,多个所述叉指电极在所述第一方向重叠的区域为有效激励区;所述叉指电极上设有沿所述第二方向延伸的质量块,所述质量块至少位于有效激励区内并覆盖所述叉指电极的部分表面,沿所述第二方向,所述质量块的宽度按预设方式渐变,所述质量块整体在所述第一方向和所述第二方向分别具有一个对称轴。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司 薄膜型声表面波谐振器及滤波器

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