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申请/专利权人：左蓝微(江苏)电子技术有限公司
摘要：本发明公开了一种用于XBAR谐振器的复合压电基板及其谐振器、滤波器，所述复合压电基板1的厚度为H，所述复合压电基板1包括：第一压电层薄膜101，所述第一压电层薄膜101的厚度为0.15H‑0.35H；介电层薄膜102，所述介电层薄膜102键合于所述第一压电层薄膜101的表面；第二压电层薄膜103，所述第二压电层薄膜103键合于所述介电层薄膜102的与所述第一压电层薄膜101相对的表面，所述第二压电层薄膜103的厚度为0.15H‑0.35H。采用本申请的复合压电基板构成的XBAR谐振器，能有效地解决传统XBAR谐振器在S6模式下耦合系数较低的问题。
主权项：1.用于XBAR谐振器的复合压电基板，所述复合压电基板的厚度为H，其特征在于，所述复合压电基板包括：第一压电层薄膜，所述第一压电层薄膜的厚度为0.15H-0.35H；介电层薄膜，所述介电层薄膜键合于所述第一压电层薄膜的表面；第二压电层薄膜，所述第二压电层薄膜键合于所述介电层薄膜的与所述第一压电层薄膜相对的表面，所述第二压电层薄膜的厚度为0.15H-0.35H。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 左蓝微(江苏)电子技术有限公司 用于XBAR谐振器的复合压电基板及其谐振器、滤波器
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