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激光等离子体场高效耦合实现对材料剥蚀效率的分析系统 

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申请/专利权人:江苏镭纳新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了激光等离子体场高效耦合实现对材料剥蚀效率的分析系统,包括工作端以及作用于其内部的激光等离子体耦合系统,工作端上分别设置有热力学和动力学系统以及原位实时监测系统,热力学和动力学系统以及原位实时监测系统数据传输于材料剥蚀观测系统,材料剥蚀观测系统数据传输于PC终端,PC终端电性连接激光等离子体耦合系统;本发明的分析系统可以为尺度可控、成分可调的高品质纳米粉体材料生产构建有效的支撑。

主权项:1.激光等离子体场高效耦合实现对材料剥蚀效率的分析系统,其特征在于:包括工作端以及作用于其内部的激光等离子体耦合系统,所述工作端上分别设置有热力学和动力学系统以及原位实时监测系统,所述热力学和动力学系统以及所述原位实时监测系统数据传输于材料剥蚀观测系统,所述材料剥蚀观测系统数据传输于PC终端,所述PC终端电性连接所述激光等离子体耦合系统;所述工作端包括真空罐以及设置于其腔体底部的样品台,所述样品台上表面设置有靶材;所述激光等离子体耦合系统包括垂直作用于所述靶材表面的等离子枪,所述真空罐侧壁上设置有激光源;所述热力学和动力学系统包括有限元分析模块与分子动力学模拟模块,所述有限元分析模块与所述分子动力学模拟模块用于监测所述靶材表现熔池形态的演化规律和多相界面的能量和物质传输机制;所述原位实时监测系统包括所述光谱学模块与超快成像模块,所述光谱学模块用于监测所述激光源对所述等离子枪产生的等离子体炬中纳米团簇的大小和分布的影响,所述超快成像模块用于监测所述激光源强度、频率、脉宽、波长等参数对所述靶材剥蚀效率;所述材料剥蚀观测系统包括用于处理所述热力学和动力学系统以及所述原位实时监测系统信息的数据采集模块与图像采集模块,最终处理后的信息传输至显示模块;所述数据采集模块与所述图像采集模块处理后的信息同步传输至所述PC终端,所述PC终端会给所述激光等离子体耦合系统一个反馈,进行工作过程中的具体调节。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏镭纳新材料科技有限公司 激光等离子体场高效耦合实现对材料剥蚀效率的分析系统

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