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申请/专利权人：戴森技术有限公司
摘要：一种在表面上制造材料的结晶层的方法，该结晶层包含锂、至少一种过渡金属和至少一种抗衡离子，其中该方法包括以下步骤：将来自包含锂的第一靶的材料等离子体溅射到基板的表面或由基板支撑的表面上，至少存在对应于粒子从第一靶到表面上的轨迹的第一羽流，以及将来自包含至少一种过渡金属的第二靶的材料等离子体溅射到表面上，至少存在对应于粒子从第二靶到表面上的轨迹的第二羽流。第一靶定位成与第二靶不平行，第一羽流和第二羽流会聚在靠近基板表面或由基板支撑的表面的区域，并且结晶层形成在所述区域的表面上。
主权项：1.一种在表面上制造材料的结晶层的方法，所述结晶层包含锂、至少一种过渡金属和至少一种抗衡离子，其中，所述方法包括以下步骤：使用远程等离子体产生器产生等离子体，将来自包含锂的第一靶的材料等离子体溅射到基板的表面或由基板支撑的表面上，至少存在对应于粒子从所述第一靶到所述表面上的轨迹的第一羽流，以及将来自包含至少一种过渡金属的第二靶的材料等离子体溅射到所述表面上，至少存在对应于粒子从所述第二靶到所述表面上的轨迹的第二羽流，并且其中：所述第一靶定位成与所述第二靶不平行，所述第一羽流和所述第二羽流在靠近所述基板的表面或由所述基板支撑的表面的区域处会聚，并且所述结晶层形成在所述区域处的表面上，其中，偏压被施加到所述靶，使得用于产生等离子体的功率和与靶上偏压相关的功率之比大于1:1，小于7:2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 戴森技术有限公司 由不同材料制造结晶材料的方法
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