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申请/专利权人：广东航禾电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种探针卡角度调整基座，涉及探针卡基座领域，包括基座主体，所述基座主体的底端安装有多组探针，且基座主体安装在探针台的上方，所述探针台的内部活动安装加工盘，加工盘的顶端安装有晶圆片，所述探针台的顶端开设有环形台，所述基座主体与环形台活动连接，探针延伸至探针台的内部位于晶圆片上方。本发明在对晶圆片进行清理时，气流会穿过导气管、内环进入到折弯管内，当晶圆片上半导体与探针底端贴合时，气囊底端的清理口内半导体金属件堵塞，气流无法排出，导致气压增加，当气压大于一定时，导气管内的气流会将导气管向下顶起，使导气管的顶端与基座主体底端分离，部分气体直接从导气管与基座主体之间的空隙排出。

主权项：1.一种探针卡角度调整基座，包括基座主体2，所述基座主体2的底端安装有多组探针204，且基座主体2安装在探针台1的上方，所述探针台1的内部活动安装加工盘8，加工盘8的顶端安装有晶圆片，所述探针台1的顶端开设有环形台5，所述基座主体2与环形台5活动连接，探针204延伸至探针台1的内部位于晶圆片上方，其特征在于：所述环形台5的顶端安装有多组夹板3，所述夹板3通过螺栓固定，夹板3位于外环11的上方对外环11限位，所述环形台5的顶端安装有旋转电机4，旋转电机4的输出端连接有齿轮，所述基座主体2的外侧安装有外环11，且外环11的外侧开设有齿边1101，齿边1101与齿轮啮合，所述环形台5的内部安装有多组送气机构，且送气机构气口对准外环11，所述外环11的边缘位于齿边1101的下方连接有进气环槽1102，进气环槽1102与气口对齐，且外环11延伸至基座主体2的下方连接有多组与进气环槽1102接通的导气管12，导气管12的端部朝向基座主体2的中心位置并连接有内环13，每组内环13的底端皆安装有多组折弯管14，所述折弯管14延伸至探针204的两侧与探针204贴合，所述折弯管14的底端连接有气囊1403，所述气囊1403与折弯管14接通，且清理口1404的底端开设有多组清理口1404，所述导气管12的顶端对称连接有卷边1201，且导气管12的顶端与基座主体2的底端紧密贴合，所述导气管12的底端内部安装有金属弹性片1202。

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