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申请/专利权人：湖南联合半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及陶瓷涂层领域，具体涉及一种碳化钽复合涂层及其制备方法和应用。所述碳化钽复合涂层包括由表及里的碳化钽涂层和碳化钽‑碳复合涂层；所述碳化钽‑碳复合涂层为多孔碳素涂层与含钽原料在孔内发生原位反应得到。本发明通过对石墨基体喷碳处理，使石墨表面粗糙化，在CVD沉积过程中五氯化钽原料不仅会与碳源反应沉积碳化钽涂层，且气源同时也会渗透进入碳涂层孔内与碳涂层在一定程度上发生原位反应，形成C‑TaC过渡层，不仅有效的缓解了热膨胀系数差异导致的失配问题，还一定程度上增强了涂层与基体的附着力。
主权项：1.一种碳化钽复合涂层，其特征在于，包括由表及里的碳化钽涂层和碳化钽-碳复合涂层；所述碳化钽-碳复合涂层为多孔碳素涂层与含钽原料在孔内发生原位反应得到。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南联合半导体科技有限公司 一种碳化钽复合涂层及其制备方法和应用
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