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申请/专利权人：瞬显光电技术(苏州)有限公司
摘要：本实用新型提供一种高通量三维成像系统，包括：照明光路；第一分束器；样品臂散射光路，用于将入射光线进行调节后射向待成像物体，经第一分束器反射后发射到中心穿孔反射镜；第一4F系统，用于将经中心穿孔反射镜的环形部分反射的光入射到第二分束器；参考臂反射光路，用于入射光线进行调节后经第一分束器的第四面出射；第二4F系统，用于将第一分束器的出射光入射至第二分束器；相机采集光路，用于形成干涉图像；上位机，用于根据干涉图像进行三维重建。本实用新型采用了特定的光学组件，通过改良的照明和成像技术，显著提升了三维成像系统在大视场应用中的成像质量和效率，满足现代科学研究和工业检测等领域对三维成像的高标准要求。
主权项：1.一种高通量三维成像系统，其特征在于，包括：照明光路，所述照明光路用于提供一个均匀照明的视场；第一分束器，所述第一分束器的第一面与所述照明光路相通，所述第一分束器的第一面用于将所述照明光路的视场分为两路；样品臂散射光路，所述样品臂散射光路与所述第一分束器的第二面相通，所述样品臂散射光路用于将所述第一分束器的第一面的第一光路的光线进行调节后射向待成像物体，再反射回所述第一分束器的第二面，经所述第一分束器反射后发射到中心穿孔反射镜，所述中心穿孔反射镜孔内填充了抑制光反射的介质；第一4F系统，所述第一4F系统用于将经所述中心穿孔反射镜的环形部分反射的光进行处理后入射到第二分束器的第一面；参考臂反射光路，所述参考臂反射光路与所述第一分束器的第三面相通，所述参考臂反射光路用于将第一分束器的第一面的第二光路的光线进行调节后再反射回所述第一分束器的第三面，经所述第一分束器的第四面出射；第二4F系统，所述第二4F系统用于将所述第一分束器的第四面的出射光进行处理后经第一反射镜入射至第二分束器的第二面；所述第二分束器将自身第一面和第二面的光进行合束处理后经第三面射出；相机采集光路，所述相机采集光路与所述第二分束器的第三面相通，所述相机采集光路用于采集所述第二分束器的第三面的出射光并形成干涉图像；上位机，所述上位机用于根据所述干涉图像进行三维重建，生成三维图像。
全文数据：
权利要求：
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