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申请/专利权人：浙江创芯集成电路有限公司
摘要：本发明实施例提供了喷嘴装置以及干法刻蚀设备，所述喷嘴装置包括：上向下依次层叠的线圈装配、盖板、调整支架、以及，与盖板连接且延伸至外侧的喷嘴管路；其中，喷嘴管路包括气体传输管和喷嘴，气体传输管的一端连接喷嘴，另一端连接有气体输入部，气体传输管内壁的表面粗糙度小于或等于预设值；线圈装配上设置有第一通孔，第一通孔的半径大于或等于喷嘴的半径，以使得喷嘴透过线圈装配，连接至盖板；盖板设置有第二通孔，第二通孔与喷嘴相匹配，用于基于喷嘴管路构成传输气体的通路；调整支架与盖板卡合，用于支撑盖板和线圈装配。本发明实施例能够减少颗粒物堆积，保证晶圆的良率。
主权项：1.一种喷嘴装置，其特征在于，应用于干法刻蚀设备，包括：由上向下依次层叠的线圈装配、盖板、调整支架、以及，与所述盖板连接且延伸至外侧的喷嘴管路；其中，所述喷嘴管路包括气体传输管和喷嘴，所述气体传输管的一端连接所述喷嘴，另一端连接有气体输入部，所述气体传输管内壁的表面粗糙度小于或等于预设值；所述线圈装配上设置有第一通孔，所述第一通孔的半径大于或等于所述喷嘴的半径，以使得所述喷嘴透过所述线圈装配，连接至所述盖板；所述盖板设置有第二通孔，所述第二通孔与所述喷嘴相匹配，用于基于所述喷嘴管路构成传输气体的通路；所述调整支架与盖板卡合，用于支撑所述盖板和所述线圈装配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江创芯集成电路有限公司 喷嘴装置以及干法刻蚀设备
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