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申请/专利权人：成都深地领航能源科技有限公司

摘要：本发明公开了一种降低静态漏电流的封装工艺技术，涉及半导体技术领域，包括底座，所述底座内嵌入式安装有电机，且电机的输出端连接有主动齿轮，所述主动齿轮的内侧啮合有齿套，且齿套套设在安装座的底部，该降低静态漏电流的封装工艺技术，在对电容进行封装时，可以适用于不同长度和直径的电容，在通过适应性调整组件，调整夹紧组件适用于不同直径电容的同时，可以同步调整束腰组件和封口组件的位置，使得在针对不同直径的电容时，有对应的束腰深度，同时有不同的封口位置，保证电容整体的稳定性和密封性，调节精度高，整个过程操作同步，无需额外调节束腰组件和封口组件的位置，操作简单，精确度高。

主权项：1.一种降低静态漏电流的封装方法，其特征在于，工艺流程如下：S1：选择合适的晶圆材料，然后对晶进行清洗和表面处理，以确保后续工艺的顺利进行；S2：将经过处理的晶圆放入刻蚀机中，使用化学气相刻蚀技术，在晶圆表面形成一层缓冲层，然后，使用光刻技术在缓冲层上涂覆一层光刻胶，并通过曝光和显影步骤，形成深槽的图案；S3：将经过光刻的晶圆放入刻蚀机中，使用干法等离子刻蚀技术，将深槽图案刻蚀到晶圆表面，刻蚀结束后，使用溶剂去除光刻胶和残留物；S4：将刻蚀后的晶圆进行清洗，去除刻蚀过程中产生的杂质和残留物，清洗过程中需要注意避免引入其他污染物；S5：使用物理气相沉积技术，将介质层材料填充到深槽中，填充过程需要控制温度和压力等参数，以确保填充均匀和致密；S6：填充介质层后，晶圆表面可能存在不平整的情况，为了得到平整的表面，进行化学机械抛光进行平坦化处理；S7：在深槽电容的上下表面上设置高K材料，形成介电材料层，在晶圆表面进行金属沉积，然后使用光刻和蚀刻技术，形成电极的图案；S8：使用多层金属互连技术，将电极与其他电路连接起来，这一步骤需要精确的对准和高精度的制程控制；S9：最后，通过封装装置对深槽电容进行封装，封装将电容器保护起来，并提供连接引脚，以便与其他元件进行连接；步骤S9中所述封装装置包括底座（1），所述底座（1）内嵌入式安装有电机（2），且电机（2）的输出端连接有主动齿轮（3），所述主动齿轮（3）的内侧啮合有齿套（4），且齿套（4）套设在安装座（5）的底部，所述安装座（5）通过轴承转动安装在底座（1）的顶部空腔内；还包括高度调节组件（6），所述高度调节组件（6）嵌入式安装在安装座（5）内，且高度调节组件（6）用于调整安装座（5）内电容的高度，所述安装座（5）的顶部位置处安装有夹紧组件（7），且夹紧组件（7）用于对电容进行夹紧，所述夹紧组件（7）和安装座（5）侧壁内部之间安装有定位锁紧组件（8），且定位锁紧组件（8）用于对夹紧组件（7）的位置进行锁定，所述底座（1）的顶部通过第二弹性伸缩杆（9）连接有安装杆（10），且安装杆（10）的顶部固定有推送环（11），并且推送环（11）位于安装座（5）的外侧，所述推送环（11）内设置有推进组件（12），且推进组件（12）用于推动夹紧组件（7）对电容进行夹紧；束腰组件（13），所述束腰组件（13）安装在底座（1）顶部左侧位置处，且束腰组件（13）用于对电容进行束腰操作；封口组件（14），所述封口组件（14）安装在底座（1）顶部右侧位置处，且封口组件（14）用于对电容顶部进行封口操作；适应性调整组件（15），所述适应性调整组件（15）安装在推送环（11）与束腰组件（13）和封口组件（14）之间，且适应性调整组件（15）用于根据电容的直径调整束腰组件（13）和封口组件（14）的位置；所述夹紧组件（7）包括夹紧杆（71），所述夹紧杆（71）通过第一弹性伸缩杆（72）在安装座（5）顶部侧边贯穿滑动安装，且夹紧杆（71）的内端固定有夹紧头（73），并且夹紧杆（71）的外端嵌入式转动安装有接触球（74），所述夹紧杆（71）在安装座（5）上等角度分布；所述定位锁紧组件（8）包括伸缩槽（81），所述伸缩槽（81）开设在安装座（5）侧边空腔的内壁上，且伸缩槽（81）通过第一弹簧（82）连接有定位杆（83），所述定位杆（83）的一端位于定位槽（84）内，且定位槽（84）等间距开设在夹紧杆（71）的侧边，所述定位杆（83）的顶部固定有活动柱（85），且活动柱（85）的顶部位于安装座（5）的顶部，所述定位杆（83）的端部设计为直角梯形结构，且定位杆（83）的端部斜面向外侧设置，并且定位杆（83）的端部与定位槽（84）凹凸配合；所述推进组件（12）包括推送杆（121），所述推送杆（121）贯穿滑动安装在推送环（11）的侧壁空腔内，且推送杆（121）的内端固定有推送头（122），所述推送杆（121）的下方设置有调节圈（123），且调节圈（123）嵌入式转动安装在推送环（11）内，所述调节圈（123）的顶部开设有调节槽（124），且调节槽（124）内滑动安装有调节杆（125），并且调节杆（125）固定在推送杆（121）的底部，所述调节圈（123）的外侧开设有限位槽（126），且限位槽（126）内设置有限位头（127），并且限位头（127）固定在第二螺杆（128）上，而且第二螺杆（128）螺纹贯穿安装在推送环（11）上，所述调节槽（124）设置为倾斜的弧形结构，且调节槽（124）通过调节杆（125）带动推送杆（121）水平移动，并且推送杆（121）端部的推送头（122）的分布位置与夹紧杆（71）的分布位置相对应，而且推送头（122）的端部设计为弧形结构，所述限位头（127）与限位槽（126）的斜面相贴，且限位头（127）设计为圆台形结构。

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