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申请/专利权人：上海声动微科技有限公司
摘要：本发明提供一种流量传感器及其制备方法。所述流量传感器包括：一载板；置于所述载板表面的加热元件；堆叠于所述加热元件表面的测温元件；置于所述载板表面，且覆盖所述加热元件和所述测温元件的金属管壳，即能够保护传感器内部元件，又可以通过表面温度变化来反应气流流量。上述技术方案通过采用监测流量传感器的金属管壳的温度变化来反映烟流量变化，能够实现对流量的精准检测，进而通过控制器实现流量的精准控制。
主权项：1.一种流量传感器，其特征在于，包括：一载板；置于所述载板表面的加热元件；堆叠于所述加热元件表面的测温元件；置于所述载板表面，且覆盖所述加热元件和所述测温元件的金属管壳，既能够保护传感器内部元件，又可以通过表面温度变化来反应气流流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海声动微科技有限公司 流量传感器及其制备方法
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