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申请/专利权人：车桐镐
摘要：本发明涉及一种气体激光的监控装置，根据本发明，其与气体激光生成室侧连接，以使从所述气体激光生成室侧接收所流入的所述异种气体，且监控容纳在所述气体激光发光腔室的所述反应空间中的所述异种气体的成分，因此在气体激光生成室内引入或产生不必要的物质时能够迅速掌握该情况并采取对应措施。因此，公开一种能够确保激光束的稳定性的技术。
主权项：1.一种气体激光的气体成分监控装置，其附着在提供反应空间的气体激光生成室来使用，所述反应空间容纳有包含异种气体的混合气体以使生成气体激光，其特征在于，所述气体激光的气体成分监控装置，与所述气体激光生成室侧连接以使从所述气体激光生成室接收所流入的所述混合气体，且监控容纳于所述气体激光生成室的所述反应空间的所述混合气体的成分；利用分光学手段获得关于所述反应空间中容纳的所述混合气体的成分或不必要的物质的引入或产生与否的信息，所述气体激光的气体成分监控装置，包括：流入管，其一侧以能够与所述气体激光生成室连通的方式结合；监控室，其独立于所述气体激光生成室而设置，并以能够与所述流入管的另一侧连通的方式结合，且提供分析空间，所述分析空间通过所述流入管接收并容纳所流入的所述混合气体；及流出管，其一端以能够与所述监控室连通的方式结合，另一端与所述气体激光生成室结合以使所述监控室与所述气体激光生成室连通，通过所述流出管，能够引导容纳在所述监控室内的所述混合气体选择性流出到所述气体激光生成室或排放到外部，所述监控室内安装有电极，所述电极从外部接收所供给的电力而在所述监控室内的所述分析空间形成等离子体，所述气体激光的气体成分监控装置从在所述监控室内的所述分析空间形成的所述等离子体获得关于所述混合气体的成分或不必要的物质的引入或产生与否的信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 车桐镐 气体激光的气体成分监控装置
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