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申请/专利权人：川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所
摘要：本发明提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本发明的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。
主权项：1.一种薄膜真空计，其特征在于，包括：外壳1，内部具有参考压力腔2；导线4，一端伸至于所述外壳1的参考压力腔2内，另一端伸出所述外壳1；吸气剂5，悬置在所述参考压力腔2内；所述吸气剂5内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线4连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 川北真空科技(北京)有限公司 中国科学院微电子研究所 一种薄膜真空计
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