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申请/专利权人：浙江工业大学
摘要：本发明公开了一种密堆积纳米金刚石薄膜。该密堆积纳米金刚石薄膜是利用旋涂种晶工艺，通过热丝化学气相沉积系统制备，该方法有效地降低了薄膜晶界中非晶碳的含量，制备了具有密堆积结构的纳米金刚石薄膜。
主权项：1.一种密堆积纳米金刚石薄膜，其特征在于所述密堆积纳米金刚石薄膜按如下方法制备：1旋涂液配制：将粒径为3nm–1μm的金刚石粉末、胶粘剂和活性剂均匀分散于有机溶剂中，得到旋涂液；所述金刚石粉末与活性剂的质量比为100:5-10；所述有机溶剂的体积以所述金刚石粉末的质量计为0.3-0.5mLmg；所述胶粘剂与所述有机溶剂的体积比为1：20-40；所述活性剂为溴化十六烷基三甲铵、聚二烯丙基二甲基氯化铵、环氧丙醇、十八烷基二甲基苄基氯化铵中的一种或两种以上的混合物；2旋涂种晶：在单晶硅片表面旋涂步骤1所述的旋涂液，所述旋涂包括15-20个循环，每个循环为1000rpm旋涂10s后3000rpm旋涂30s；得到表面涂布有一层致密的种晶层的硅片；3热处理：将步骤2所述的表面涂布有一层致密的种晶层的硅片置于管式炉中，在氩气保护气氛中500-800℃热处理8-20min，得到热处理后的硅片；4将步骤3所述的热处理后的硅片作为衬底，以丙酮作为碳源进行热丝化学气相沉积；得到所述密堆积纳米金刚石薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江工业大学 一种密堆积纳米金刚石薄膜及其制备方法
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