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申请/专利权人:中科见微智能装备(苏州)有限公司
摘要:本发明提供一种超音波除尘方法,涉及半导体制造技术领域,方法包括:获取待清洁产品部件;然后获取待清洁产品表面的待处理图像,识别所述待清洁产品部件表面的粉尘特征;再根据该所述粉尘特征,确定待清洁检测结果;接着基于所述待清洁检测结果,生成相应的超音波频率、超音波强度和清洁持续时间;继而运用生成的所述超音波频率、所述超音波强度和所述清洁持续时间,通过超音波震荡的方式对所述待清洁产品部件表面的粉尘进行分解;根据前述粉尘的颗粒特征,确定吸气装置的吸力,以及所述吸气装置的位置。由此,实现粉尘的可控分解与清除。
主权项:1.一种超音波除尘方法,其特征在于,包括以下步骤:获取待清洁产品部件;获取待清洁产品表面的待处理图像,识别所述待清洁产品部件表面的粉尘特征;根据所述待清洁产品部件表面的粉尘特征,确定待清洁检测结果;基于所述待清洁检测结果,生成相应的超音波频率、超音波强度和清洁持续时间;运用生成的所述超音波频率、所述超音波强度和所述清洁持续时间,通过超音波震荡的方式对所述待清洁产品部件表面的粉尘进行分解;根据分解后的所述粉尘颗粒的特征,确定吸气装置的吸力,以及所述吸气装置的位置。
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权利要求:
百度查询: 中科见微智能装备(苏州)有限公司 一种超音波除尘方法
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