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一种用于精准调控铜箔粗糙度的酸性铜盐粗化液及粗化方法 

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申请/专利权人:长江师范学院

摘要:本发明公开了一种用于精准调控铜箔粗糙度的酸性铜盐粗化液及粗化方法,酸性铜盐粗化液包括主盐、促进剂、配位剂和缓蚀剂。其中,以提供一价铜或二价铜的无机卤素类铜盐为主盐,以含有卤素的无机酸及其碱金属盐或及其铵盐为促进剂,以羧酸、磺酸或亚磺酸类有机酸及其碱金属盐或及其铵盐为配位剂,以含氮、硫杂环化合物和聚醇类有机物的混合物为缓蚀剂。本发明综合性能突出,在温度35~55℃、pH0~5、电流密度10~50Adm2、粗化液搅拌、鼔空气、喷流控制条件下,实现了铜箔粗糙度0.05~0.4μm精准调控。

主权项:1.一种用于精准调控铜箔粗糙度的酸性铜盐粗化液,其特征在于,包括主盐、促进剂、配位剂和缓蚀剂;其中主盐为无机卤素类铜盐中的一种;促进剂为含有卤素的无机酸及其碱金属盐或及其铵盐中的一种或多种;配位剂为羧酸、磺酸、亚磺酸类有机酸及其碱金属盐或及其铵盐中的一种或多种;缓蚀剂为含氮、硫杂环化合物和聚醇类有机物的混合物。

全文数据:

权利要求:

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