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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
摘要：本申请公开了一种旁通流道结构及流量测量装置，涉及流量测量相关技术领域，用于解决现有的流量测量装置的制程繁琐，以及制造成本高的问题。本申请提供的旁通流道结构包括本体，本体在第一方向具有相对而设的第一壁面和第二壁面，第一壁面上设有朝向第二壁面凹入且间隔设置的检测流道和收容槽，检测流道包括导入段、导出段和连接于导入段和导出段之间的容置段，收容槽内设有间隔布置的导入子流道和导出子流道，导入子流道连通导入段与所述收容槽，所述导出子流道连通所述导出段与所述收容槽，导入段和导出段远离所述容置段的一侧均用于与外部的外流道流体连通。本申请提供的旁通流道结构能够简化流量测量装置的制程，以及降低其制造成本。
主权项：1.一种旁通流道结构，其特征在于，包括本体，所述本体在第一方向具有相对而设的第一壁面和第二壁面，所述第一壁面上设有朝向所述第二壁面凹入且间隔设置的检测流道和收容槽，所述检测流道包括导入段、导出段和连接于所述导入段和所述导出段之间的容置段，所述收容槽内设有间隔布置的导入子流道和导出子流道，所述导入子流道连通所述导入段与所述收容槽，所述导出子流道连通所述导出段与所述收容槽，其中，所述导入段和所述导出段远离所述容置段的一侧均用于与外部的外流道流体连通，所述第一壁面用于与基板连接，所述容置段用于收容所述基板上设置的第一类型流量测量组件，所述收容槽用于收容所述基板上设置的第二类型流量测量组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 旁通流道结构及流量测量装置
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