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申请/专利权人：浙江晶鸿精密机械制造有限公司
摘要：本申请涉及气浮轴承加工领域，尤其是一种空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法、设备及系统，方法包括：获取槽浮轴承的小孔处成像；基于所述成像判断轴承小孔的初步加工情况；将锥形探头沿空气主轴用气浮轴承表面的小孔内，并获取感光组件上光斑的状态；基于所述光斑状态判断小孔的加工情况。解决了现有技术中空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法不满足检测要求的技术问题，达到提高小孔检测精度、检测效率、空气主轴用气浮轴承成品质量的技术效果。
主权项：1.一种空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法，其特征在于，包括；获取空气主轴用气浮轴承（100）表面小孔（130）处成像；基于所述成像判断轴承小孔（130）的初步加工情况；控制锥形探头（310）沿空气主轴用气浮轴承（100）表面的小孔（130）移动，并获取感光组件（500）上光斑的状态；基于所述光斑状态判断小孔（130）的加工情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶鸿精密机械制造有限公司 一种空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法、设备及系统
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