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弹性波器件及其制备方法 

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申请/专利权人:泉州市三安集成电路有限公司

摘要:本发明涉及弹性波器件技术领域,特别涉及一种弹性波器件,其包括衬底、激励电极、罩部件和焊盘电极,衬底上具有连通的第一凹槽和第二凹槽,第二凹槽高于第一凹槽,激励电极设置在第一凹槽内,罩部件设置在第二凹槽内并覆盖在激励电极上方,罩部件与衬底的第一凹槽形成空腔,焊盘电极设置在衬底上并电连接激励电极,焊盘电极高于激励电极。借此设置,该弹性波器件具有小型化、低高度化的特性,且保障弹性波器件的可靠性。

主权项:1.一种弹性波器件,其特征在于:所述弹性波器件包括:衬底,所述衬底上具有第一凹槽和第二凹槽,所述第一凹槽连通所述第二凹槽,所述第二凹槽高于所述第一凹槽;激励电极,设置在所述衬底的所述第一凹槽内;罩部件,设置在所述衬底的所述第二凹槽内,并覆盖在所述激励电极上方,所述罩部件与所述衬底的所述第一凹槽形成空腔;焊盘电极,设置在所述衬底上,所述焊盘电极电连接所述激励电极,所述焊盘电极高于所述激励电极。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 泉州市三安集成电路有限公司 弹性波器件及其制备方法

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