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申请/专利权人:陕西科技大学
摘要:本发明公开了一种光纤微孔折射率传感器,包括一根光纤,光纤侧面有一个微槽,在微槽底部中心有一个微孔;所述光纤内部包括开放式空腔和封闭式固腔;在液体与开放式空腔和封闭式固腔接触处形成固‑液的界面;在固‑液的界面处发生菲涅耳反射,在传感器头部形成三个反射面,分别记为M1,M2,M3;M1和M2形成一个空气FP传感腔,记为Cavity1,M2和M3形成一个光纤FP参考腔,记为Cavity2;Cavity3由M1和M3组成。本发明具有机械稳定性好、响应快、耐高温和光学性能好的特点,该制备方法能够批量化、高成品率和高重复率的进行制造。
主权项:1.一种光纤微孔折射率传感器,其特征在于,包括光纤1,光纤1侧面有一个微槽2,在微槽2底部中心有一个微孔3;所述光纤1内部包括开放式空腔和封闭式固腔;在液体与开放式空腔和封闭式固腔接触处形成固-液界面;在固-液界面处发生菲涅耳反射,在传感器头部形成三个反射面,分别记为M1,M2,M3;M1和M2形成一个空气FP传感腔4,记为Cavity1,M2和M3形成一个光纤FP参考腔5,记为Cavity2;Cavity3由M1和M3组成。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 陕西科技大学 一种光纤微孔折射率传感器及其制作方法
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