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申请/专利权人：不列颠哥伦比亚大学
摘要：根据至少一个实施例，公开了一种制造微机电系统MEMS结构的方法，该方法包括将机电层层压到微机械结构。
主权项：1.一种制造微机电系统MEMS结构的方法，所述方法包括：通过穿过所述MEMS结构的第一层和所述MEMS结构的第二层中的每一者中的相对应的对准开口定位对准柱而将所述第一层与所述第二层对准；以及当所述对准柱穿过所述相对应的对准开口定位时，将所述第一层层压到所述第二层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 不列颠哥伦比亚大学 制造微机电系统结构的方法
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