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申请/专利权人：同济大学;中国计量科学研究院
摘要：本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置，涉及原子光刻技术领域，装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接；频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接；偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接；偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接，本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。
主权项：1.一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备装置，其特征在于，包括，光学频率梳，连续可调谐激光器，倍频光路，保偏光纤分束器，保偏光纤合束器，拍频检测光路，功分器，频率计数器，偏频锁定系统以及原子光刻沉积系统；所述光学频率梳的输出端与所述倍频光路连接；所述连续可调谐激光器的输出端与所述保偏光纤分束器的输入端连接；所述连续可调谐激光器的输出端一侧依次设置有第二半波片和第二耦合器；所述倍频光路和和所述保偏光纤分束器的第一输出端分别与所述光纤合束器的输入端连接；所述保偏光纤合束器的输出端与所述拍频检测光路的输入端连接；所述拍频检测光路的输出端通过光电接收器与所述功分器的输入端连接；所述频率计数器的输入端与所述功分器的第一输出端连接；所述偏频锁定系统的输入端与所述功分器的第二输出端连接；所述偏频锁定系统的输出端与所述连续可调谐激光器的控制输入端连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 同济大学 中国计量科学研究院 一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置
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