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一种同轴照明双倍率双远心光学系统 

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申请/专利权人:江西高瑞光电股份有限公司

摘要:本发明公开了一种同轴照明双倍率双远心光学系统,包括第一前镜组、第二前镜组、后镜组、第一分光棱镜和第二分光棱镜,第一前镜组、第二前镜组和后镜组分别位于第一分光棱镜的不同侧,第二分光棱镜位于后镜组背离第一分光棱镜的一侧;第一分光棱镜,用于将后镜组发出的光线分别经过第一前镜组和第二前镜组形成第一双远心光路和第二双远心光路;第二分光棱镜,用于接收物面发射的成像光线并转折至后镜组、以及用于将外置光源的照明光线垂直照射至物面实现同轴照明;并通过调节各个透镜的光焦度相互补偿。可以在不更换镜头的情况下,对物体进行不同的超宽放大倍率测量,保证变倍测量过程中测量条件的一致性,且视场范围广,有利于提高测量精度。

主权项:1.一种同轴照明双倍率双远心光学系统,其特征在于:所述同轴照明双倍率双远心光学系统包括第一前镜组G1、第二前镜组G2、后镜组G3、第一分光棱镜G4和第二分光棱镜G5,所述第一前镜组G1、第二前镜组G2和后镜组G3分别位于所述第一分光棱镜G4的不同侧,所述第二分光棱镜G5位于所述后镜组G3背离所述第一分光棱镜G4的一侧,其中:所述第一前镜组G1,包括沿第一光轴方向依次设置的第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第一光阑STP1、第四透镜L4和第五透镜L5;所述第二前镜组G2,包括沿第二光轴方向依次设置的第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11和第二光阑STP2;所述后镜组G3,包括沿第三光轴方向依次设置的第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14和第十五透镜L15;所述第一分光棱镜G4,用于将所述后镜组G3发出的光线分为两路分别经过所述第一前镜组G1和第二前镜组G2,所述第一前镜组G1和后镜组G3形成第一双远心光路,所述第二前镜组G2和后镜组G3形成第二双远心光路;所述第二分光棱镜G5,用于接收物面发射的成像光线并转折至所述后镜组G3、以及用于将外置光源的照明光线垂直照射至物面实现同轴照明;所述同轴照明双倍率双远心光学系统还满足如下条件:0.75≤f1ff1≤0.85,0.17≤f2ff1≤0.25,-0.22≤f3ff1≤-0.12,-0.18≤f4ff1≤-0.13,0.15≤f5ff1≤0.25;-0.2≤f6ff2≤-0.05,0.01≤f7ff2≤0.07,-0.20≤f8ff2≤-0.10,0.10≤f9ff2≤0.20,0.05≤f10ff2≤0.12,-0.20≤f11ff2≤-0.12;2.00≤f12ff3≤2.23,0.80≤f13ff3≤1.20,-1.50≤f14ff3≤-0.80,1.60≤f15ff3≤1.80;其中,f1~f15依次对应为所述第一透镜L1至第十五透镜L15的焦距,ff1为所述第一前镜组G1的焦距,ff2为所述第二前镜组G2的焦距,ff3为所述后镜组G3的焦距,单位mm。

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权利要求:

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