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申请/专利权人：南京工业大学
摘要：本发明公开了一种用于新能源热管理芯片生产过程中的保护设备，它包括炉体，炉体本身连接冷却压缩机；炉体通过阀门与真空泵相连，炉体通过氮气充气阀连接有氮气罐；炉体上还设有通电线路，通电线路一方面连接炉体外侧的输电装置获取电能，另一方面连接炉体内的石墨棒令其加热，所述石墨棒布置于炉体的内壁；炉体的外壁和内壁均设置有热电偶作为温度传感器，炉体上端内壁还设有氧传感器和真空传感器，炉体内壁各温区设置至少一个耐高温摄像机；各传感器、耐高温摄像机的信号输出端连接炉体外部的PLC一体机。本发明目的在于高效除去芯片中的吸附氧，提高芯片的耐压寿命、质量可靠性，同时通过智能化控制、简化工艺操作路线，从而节约成本。
主权项：1.一种用于新能源热管理芯片生产过程中的保护设备，其特征在于它包括炉体，炉体本身连接冷却压缩机22；炉体通过阀门8与真空泵9相连，炉体通过氮气充气阀连接有氮气罐；炉体上还设有通电线路4，通电线路4一方面连接炉体外侧的输电装置21获取电能，另一方面连接炉体内的石墨棒18令其加热，所述石墨棒18布置于炉体的内壁；炉体外设置水箱16，水箱16连接进水管向炉体的水冷管道层20送水，水冷管道层20通过出水管3向炉体外的冷却池送水，冷却池连接水箱16构成循环水冷系统；其中进水管和出水管3上均设置有止回阀2；炉体的外壁和内壁均设置有热电偶1作为温度传感器，炉体上端内壁还设有氧传感器和真空传感器，炉体内壁各温区设置至少一个耐高温摄像机；各传感器、耐高温摄像机的信号输出端连接炉体外部的PLC一体机。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京工业大学 用于新能源热管理芯片生产过程中的保护设备
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