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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：本发明公开一种静电放电防护器件及其制备方法，涉及半导体技术领域，以解决难以在较小面积下对碳基器件进行静电防护的问题。所述一种静电放电防护器件包括：形成在衬底内的至少具有两个电极的硅基器件，覆盖衬底的有两个互联通孔的绝缘层，形成在绝缘层上至少有两个电极的碳基器件，以及连接硅基器件和碳基器件的互联金属。所述一种静电放电防护器件的制备方法包括：在衬底内形成硅基器件，在衬底上覆盖绝缘层，在绝缘层上形成两个互联通孔，在绝缘层上形成碳基器件，在互联通孔上形成互联金属，互联金属将碳基器件和硅基器件连接。本发明实现了在占用较小面积的前提下使用硅基器件对碳基集成电路进行静电防护的效果。
主权项：1.一种静电放电防护器件，其特征在于，包括：衬底，所述衬底内形成有硅基器件，所述硅基器件至少具有两个电极；覆盖所述衬底的绝缘层，所述绝缘层设置有贯穿所述绝缘层的第一互联通孔和第二互联通孔；形成在所述绝缘层上的碳基器件，所述碳基器件至少具有两个电极；形成在所述第一互联通孔处的第一互联金属，形成在所述第二互联通孔处的第二互联金属；所述硅基器件的第一电极和所述碳基器件的第三电极通过第一互联金属连接，所述硅基器件的第二电极和所述碳基器件的第四电极通过第二互联金属连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种静电放电防护器件及其制备方法
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