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申请/专利权人：三井化学株式会社
摘要：本发明提供一种能够抑制将防护膜组件贴附于光掩模时的滞留气泡数量的带粘着层的防护膜组件框的制造方法。本公开的带粘着层的防护膜组件框的制造方法具备如下工序：准备框前体的工序，上述框前体具备防护膜组件框11和形成于上述防护膜组件框12的作为粘着层12的前体的前体层；在上述前体层的表面配置玻璃化转变温度高于下述工程的加热温度的保护膜21，以形成带保护膜的框前体；以及，对上述带保护膜的框前体进行加热，由上述前体层形成表面得到平坦化的上述粘着层12。
主权项：1.一种带粘着层的防护膜组件框的制造方法，所述带粘着层的防护膜组件框具备防护膜组件框、和形成于所述防护膜组件框且用于贴附于光掩模的粘着层，所述制造方法具有：工序A，准备框前体，所述框前体具备所述防护膜组件框、和形成于所述防护膜组件框的作为所述粘着层的前体的前体层；工序B，在所述前体层的表面配置保护膜，以形成带保护膜的框前体；以及工序C，对所述带保护膜的框前体实施加热处理，由所述前体层形成表面得到平坦化的所述粘着层，所述保护膜的玻璃化转变温度高于所述工序C的加热温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三井化学株式会社 带粘着层的防护膜组件框的制造方法、带保护膜的防护膜组件框、带粘着层的防护膜组件框、防护膜组件和带防护膜组件的光掩模
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